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Error compensation on precision machine tool servo control system based on digital concave filter

Journal of Harbin Institute of Technology(New Series) 2001年第4期8卷 389-393页

作者：王立松苏宝库张晶董申 Dept. of Control Theory and Engineering Harbin Institute of Technology Dept. of Computer Science and Engineering Harbin Institute of Technology Dept. of Mechanical Engineering and Automation Harbin Institute of Technology

It is concluded from the results of testing the frequency characteristics of the sub micron precision machine tool servo control system, that the existence of several oscillating modalities is the main factor that affects the performance of the control system. To compensate for this effect,several concave filters are utilized in the system to improve the control accuracy. The feasibility of compensating for several oscillating modalities with a single concave filter is also studied. By applying a modified Butterworth concave filter to the practical system, the maximum stable state output error remains under ±10 nm in the closed loop positioning system.

关键词： precision machine tool concave filter oscillating modality

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