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Silicon nanophotonics for on-chip light manipulation

Chinese Physics B 2018年第10期27卷 46-57页

作者： Jingshu Guo Daoxin Dai Center for optical and Electromagnetic Research State Key Laboratory for Modern Optical InstrumentationCollege of Optical Science and EngineeringZhejiang UniversityHangzhou 310058China

The field of silicon nanophotonics has attracted considerable attention in the past decade because of its unique advantages,including complementary metal–oxide–semiconductor（CMOS） compatibility and the ability to achieve an ultra-high integration density. In particular, silicon nanophotonic integrated devices for on-chip light manipulation have been developed successfully and have played very import roles in various applications. In this paper, we review the recent progress of silicon nanophotonic devices for on-chip light manipulation, including the static type and the dynamic type. Static onchip light manipulation focuses on polarization/mode manipulation, as well as light nanofocusing, while dynamic on-chip light manipulation focuses on optical modulation/switch.ng. The challenges and prospects of high-performance silicon nanophotonic integrated devices for on-chip light manipulation are discussed.

关键词： silicon nanophotonics polarization mode manipulation nanoplasmonics optical modulator optical switch.

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