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Preparation and Characterization of TiO2/Ormosil Planar Waveguide with Low Attenuation

Journal of Shanghai University(English Edition) 2005年第6期9卷 489-492页

作者：王宝玲胡丽丽李慧琴 Institute of Optics and Fine Mechanics Chinese Academy of Science Shanghai 201800 P.R. China Instrumental Analysis Center Shanghai Jiaotong University Shanghai 200030 P.R. China

TiO2/ ormosil planar waveguide was prepared by sol-gel method at low thermal treatment temperature （〈 200 ℃）. Scanning electron microscope, FT-IR spectrometer, spectrophotometer, atomic force microscopy, thermal analyzer, and dark m-line spectroscopy were used with the method of scattering-detection to investigate optical and structural properties. High optical quality waveguide film was obtained. The propagation loss of film was 0.569 dB/cm at a wavelength of 632.8 nm.

关键词： sol-gel process ormosil planar waveguide low attenuation optical property.

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