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Trace-Rare-Gas optical Emission Spectroscopy of Nitrogen Plasma Generated at a Frequency of 13.56 MHz

Plasma Science and Technology 2011年第2期13卷 208-212页

作者： N.U.REHMAN F.U.KHAN S.NASEER G.MURTAZA S.S.HUSSAIN I.AHMAD M.ZAKAULLAH Department of Physics COMSATS Institute of Information Technology Department of Physics Gomal University Department of Physics Peshawar University Department of Physics Quaid-i-Azam University

optical emission spectroscopic measurement of trace rare gas is carried out to determine the density of nitrogen （N） atom, in a nitrogen plasma, as a function of filling pressure and RF power applied. 2% of argon, used as an actinometer, is mixed with nitrogen. In order to normalize the changes in the excitation cross section and electron energy distribution function at different operational conditions, the Ar-I emission line at 419.83 nm is used, which is of nearly the same excitation efficiency coefficient as that of the nitrogen emission line at 493.51 nm. It is observed that the emission intensity of the selected argon and atomic nitrogen lines increases with both pressure and RF power, as does the nitrogen atomic density.

关键词： optical actinometry N atomic density EEDF RF plasma

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