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Fabrication and optical properties of Mg_xZn_(1-x)O thin films

Chinese Physics B 2010年第1期19卷 524-526页

作者：张锡健袁慧敏王卿璞王统马洪磊 School of Physics Shandong University Department of Physical Science and Technology Shandong Institute of Education

MgxZn1-xO （x≤0.3） thin films have been prepared on silicon substrates by radio frequency magnetron sputtering at room temperature. The thin films have hexagonal wurtzite single-phase structure and a preferred orientation with the c-axis perpendicular to the substrates. The Mg content in the films is slightly larger than that in the targets. The refractive indices of MgxZn1-xO films measured at room temperature by spectroscopic ellipsometry （SE） on the wavelength 632.8 nm are systematically decreased with the increasing of Mg content. optical band gaps of MgxZn1-xO films are determined by the transmittance spectra. With increasing Mg content, the absorption edges of MgxZn1-xO films shift to higher energies and band gaps linearly increase from 3.24 eV at x = 0 to 3,90 eV at x = 0.30.

关键词： semiconductor thin films alloys optical droderties

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