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Nanoelectromechanical resonant narrow-band amplifiers

Microsystems & Nanoengineering 2016年第1期2卷 270-277页

作者： Alireza Ramezany Mohammad Mahdavi Siavash Pourkamali Department of Electrical Engineering University of Texas at DallasRichardsonTX 75080USA

This study demonstrates amplification of electrical signals using a very simple nanomechanical *** is shown that vibration amplitude amplification using a combination of mechanical resonance and thermal-piezoresistive energy pumping,which was previously demonstrated to drive self-sustained mechanical oscillation,can turn the relatively weak piezoresistivity of silicon into a viable electronic amplification mechanism with power gains of 420 *** functionalities ranging from frequency selection and timing to sensing and actuation have been successfully demonstrated for microscale and nanoscale electromechanical *** such capabilities complement solid-state electronics,enabling state-of-the-art compact and high-performance electronics,the amplification of electronic signals is an area where micro-/nanomechanics has not experienced much *** contrast to semiconductor devices,the performance of the proposed nanoelectromechanical amplifier improves significantly as the dimensions are reduced to the nanoscale presenting a potential pathway toward deep-nanoscale *** nanoelectromechanical amplifier can also address the need for ultranarrow-band filtering along with the amplification of lowpower signals in wireless communications and certain sensing applications,which is another need that is not efficiently addressable using semiconductor technology.

关键词： NEMS nanoelectromechanical amplifier narrow-band filtering displacement amplification thermal piezoresistive resonance effective quality factor improvement

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