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Experimental investigation on the unbalanced Mach–Zehnder interferometer on lithium niobate thin film

Chinese Optics Letters 2022年第10期20卷 71-75页

作者： Xuerui Sun Yinan Wu Chuanyi Lu Yuting Zhang Hao Li Shijie Liu Yuanlin Zheng Xianfeng Chen State Key Laboratory of Advanced Optical Communication Systems and Networks School of Physics and AstronomyShanghai Jiao Tong UniversityShanghai 200240China Shanghai Research Center for Quantum Sciences Shanghai 201315China Collaborative Innovation Center of Light Manipulation and Applications Shandong Normal UniversityJinan 250358China

We design and fabricate an unbalanced Mach–Zehnder interferometer(MZI)via electron beam lithography and inductively coupled plasma etching on lithium niobate thin *** single unbalanced MZI exhibits a maximum extinction ratio of 32.4 dB and a low extra loss of 1.14 dB at the telecommunication ***,tunability of the unbalanced MZI by harnessing the thermo-optic and electro-optic effect is investigated,achieving a linear tuning efficiency of 42.8 pm/℃ and 55.2 pm/V,*** demonstrated structure has applications for sensing and filtering in photonic integrated circuits.

关键词： lithium niobate Mach-Zehnder interferometer electro-optic effect thermo-optic effect nanowaveguide

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