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Recent research progress of master mold manufacturing by nanoimprint technique for the novel microoptics devices

Frontiers of Materials Science 2022年第3期16卷 83-100页

作者： Yuhang LIU Jianjun LIN Zuohuan HU Guoli GAO Bingyang WANG Liuyi WANG Zhiyuan PAN Jianfei JIA Qinwei YIN Dengji GUO Xujin WANG Institute of Semiconductor Manufacturing Research Shenzhen UniversityShenzhen 518060China Shenzhen Silver Basis Technology Co. Ltd.Shenzhen 523459China Institute of Microelectronics Shenzhen UniversityShenzhen 518060China Shenzhen Key Laboratory of High Performance Nontraditional Manufacturing College of Mechatronics and Control EngineeringShenzhen UniversityShenzhen 518060China

The consumer demand for emerging technologies such as augmented reality(AR),autopilot,and three-dimensional(3D)internet has rapidly promoted the application of novel optical display devices in innovative ***,the micro/nanomanufacturing of high-resolution optical display devices is the primary issue restricting their *** manufacturing technology of micro/nanostructures,methods of display mechanisms,display materials,and mass production of display devices are major technical *** comprehensively understand the latest state-of-the-art and trigger new technological breakthroughs,this study reviews the recent research progress of master molds produced using nanoimprint technology for new optical devices,particularly AR glasses,new-generation light-emitting diode car lighting,and naked-eye 3D display mechanisms,and their manufacturing techniques of master *** focus is on the relationships among the manufacturing process,microstructure,and display of a new optical *** master molds are reviewed for the manufacturing and application of new optical devices,and the challenges and prospects of the new optical device diffraction grating nanoimprint technology are discussed.

关键词： master mold manufacturing nanoimprint technique augmented reality automotive lighting naked-eye 3D display

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