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检索条件"主题词=microwave electron cyclotronresonant chemical vapour deposition"
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Semi-quantitative study on the Staebler-Wronski effect of hydrogenated amorphous silicon films prepared with HW-ECR-CVD system
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Chinese Physics B 2006年 第4期15卷 813-817页
作者： 丁毅 刘国汉 陈光华 贺德衍 朱秀红 张文理 田凌 马占杰 School of Physical Science and Technology Lanzhou University Lanzhou 730000 China The Key Laboratory of Advanced Functional Materials Ministry of Education of China Beijing University of Technology Beijing 100022 China
The method of numerical simulation is used to fit the relationship between the photoconductivity in films and the illumination time. The generation and process rule of kinds of different charged defect states during i... 详细信息
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