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ABNORMAL BENDING OF micro-cantilever plate INDUCECD BY A DROPLET

Acta Mechanica Solida Sinica 2010年第5期23卷 428-436页

作者： Jianlin Liu Xueyan Zhu Xinkang Li Zhiwei Li 1(Department of Engineering Mechanics,China University of Petroleum,Qingdao 266555,China) Department of Engineering Mechanics China University of Petroleum Qingdao China

The abnormal bending of a micro-cantilever plate induced by a droplet is of great interest and of significance in micro/nano-manipulations. In this study, the physical mechanism of this abnormal phenomenon induced by an actual droplet is elucidated. Firstly, the morphologies of 2D and 3D droplets axe solved analytically or numerically. Then the Laplace pressure difference acting on the cantilever plate caused by the droplet is presented. Finally, the deflections of the micro-cantilever plates driven by the capillary forces are quantitatively analyzed. These analytical results may be beneficial to some engineering applications, such as micro-sensors, MEMS and the micro/nano-measurement.

关键词： micro-cantilever plate surface tension Laplace pressure difference abnormal bending deflection

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