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Design and Imaging Application of Room-Temperature Terahertz Detector with micro-bolometer Focal Plane Array

Journal of Electronic Science and Technology 2016年第2期14卷 98-102页

作者： Jun Wang Jun Gou Zhi-Ming Wu Ya-Dong Jiang School of Optoelectronic Information University of Electronic Science and Technology of China

Room-temperature terahertz （THz） detectors indicate a great potential in the imaging application because of their real-time, compact bulk, and wide spectral band responding characteristics. THz detectors with different dimensions based on a micro-bridge structure have been designed and fabricated to get optimized micro-bolometer parameters from the test results of membrane deformation. A nanostructured titanium （Ti） thin film absorber is integrated in the micro-bridge structure of the VOx micro-bolometer by a combined process of magnetron sputtering and reactive ion etching （RIE）, and its improvement of THz absorption is verified by an optical characteristics mesurement. Continuous-wave THz detection and imaging are demonstrated by using a 2.52 THz far infrared CO2 laser and a 320x240 vanadium oxide micro-bolometer focal plane array with an optimized cell structure. With this detecting system, THz imaging of metal concealed in a wiping cloth and an envelope is demonstrated, respectively.

关键词： Index Terms---Focal plane array micro-bolometer structure real-time imaging room temperatureterahertz detector

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