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On-chip mechanical computing:status,challenges,and opportunities

Chip 2023年第1期2卷 58-72页

作者： Luming Wang Pengcheng Zhang Zuheng Liu Zenghui Wang Rui Yang Institute of Fundamental and Frontier Sciences University of Electronic Science and Technology of ChinaChengdu 610054China University of Michigan-Shanghai Jiao Tong University Joint Institute Shanghai Jiao Tong UniversityShanghai 200240China School of Electronic Information and Electrical En-gineering Shanghai Jiao Tong UniversityShanghai 200240China State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices University of Elec-tronic Science and Technology of ChinaChengdu 610054China

With increasing challenges towards continued scaling and improve-ment in performance faced by electronic computing,mechanical com-puting has started to attract growing *** advantage of the mechanical degree of freedom in solid state devices,micro/nano-electromechanical systems(MEMS/NEMS)could provide alternative solutions for future computing and memory systems with ultralow power consumption,compatibility with harsh environments,and high *** this review,MEMS/NEMS-enabled memories and logic processors were surveyed,and the prospects and challenges for future on-chip mechanical computing were also analyzed.

关键词： MEMS/NEMS switch MEMS/NEMS resonator mechanical computing mechanical memory Low-power computing

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Nanomechanics: emerging opportunities for future computing

引用

Science China(Information Sciences) 2021年第10期64卷 245-247页

作者： Zenghui WANG Jiawei FANG Pengcheng ZHANG Rui YANG Institute of Fundamental and Frontier Sciences University of Electronic Science and Technology of China University of Michigan-Shanghai Jiao Tong University Joint Institute Shanghai Jiao Tong University

The exploration for greater computing power has existed for a long time. Since the 1960 s, transistors in modern electronic computers have kept advancing following Moore’s ***, as silicon transistors continue to scale down, they face challenges such as increases in OFF-state leakage power due to the limited subthreshold swing, incompatibility with high-temperature operation, and lack of ***, new types of computing devices are being explored to address these problems.

关键词： MEMS NEMS mechanical computing logic devices switches resonators

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