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机构

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作者

  • 1 篇 刘保顺

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  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=magnetron spattering"
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排序:
The Influence of Annealing Temperature on the Structure and Properties of TiO_2 Films Prepared by Sputtering
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Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science) 2006年 第2期21卷 72-75页
作者: 刘保顺 Key Laboratory for Silicate Material Science and Engineering of Ministry of Education Wuhan University of Technology Wuhan 430070 China
The TiO2 fihus were prepared on slides by dc reactive magnetron spattering, then the samples were annealed at 300 ℃ ,350 ℃ ,400 ℃ ,450 ℃ ,500 ℃ and 550 ℃ , respectively. X-ray diffraction (XRD) was used to obt... 详细信息
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