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检索条件"主题词=low angle x -ray diffraction"
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Fabrication　and　Thickness　Measurment　of　the　Thin　Films　Deposited　by　Planar　Magnetron　Sputtering
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引用
Chinese Journal of Lasers 1994年 第1期B3卷 69-75页
作者： SHAO Jian-da FAN Zheng-xiu YI Kui YIN Gong-jie YUAN Lixiang(Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica, P. O. Box800-211, Shanghai 201800, China) Acad Sinica Shanghai China
ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄＴｈｉｃｋｎｅｓｓＭｅａｓｕｒｍｅｎｔｏｆｔｈｅＴｈｉｎＦｉｌｍｓＤｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙＰｌａｎａｒＭａｇｎｅｔｒｏｎＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇ￥ＳＨＡＯＪｉａｎ－ｄａ；ＦＡＮＺｈｅｎｇ－ｘｉｕ... 详细信息
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