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local bending OF THIN FILM ON VISCOUS LAYER

Acta Mechanica Solida Sinica 2010年第2期23卷 106-114页

作者： Yin Zhang Yun Liu State Key Laboratory of Nonlinear Mechanics (LNM) Institute of Mechanics Chinese Academy of Sciences Beijing 100190 China Faculty of Information and Automation Kunming University of Science and Technology Kunming 650051 China

Effects of deposition layer position film are systematically investigated. Because the and number/density on local bending of a thin deposition layer interacts with the thin film at the interface and there is an offset between the thin film neutral surface and the interface, the deposition layer generates not only axial stress but also bending moment. The bending moment induces an instant out-of-plane deflection of the thin film, which may or may not cause the socalled local bending. The deposition layer is modeled as a local stressor, whose location and density are demonstrated to be vital to the occurrence of local bending. The thin film rests on a viscous layer, which is governed by the Navier-Stokes equation and behaves like an elastic foundation to exert transverse forces on the thin film. The unknown feature of the axial constraint force makes the governing equation highly nonlinear even for the small deflection chse. The constraint force and film transverse deflection are solved iteratively through the governing equation and the displacement constraint equation of immovable edges. This research shows that in some special cases, the deposition density increase does not necessarily reduce the local bending. By comparing the thin film deflections of different deposition numbers and positions, we also present the guideline of strengthening or suppressing the local bending.

关键词： local bending deposition layer/dot thin film viscous layer constraint

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