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Numerical investigation of multi-beam laser heterodyne measurement with ultra-precision for linear expansion coefficient of metal based on oscillating mirror modulation
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Chinese Physics B 2011年 第1期20卷 398-404页
作者： 李彦超 王春晖 曲杨 高龙 丛海芳 杨彦玲 高洁 王遨游 National Key Laboratory of Tunable laser Technology Harbin Institute of Technology
This paper proposes a novel method of multi-beam laser heterodyne measurement for metal linear expansion coefficient. Based on the doppler effect and heterodyne technology, the information is loaded of length variatio... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
Driving Control in MEMS Tangential Motion Measurement
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第三届国际仪器科学技术学术研讨会
作者： LENG Chang-lin a ZHANG Guo-xiong a JIANG Cheng-zhi a ZHONG Ying a YU Fu-sheng a b a State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments Tianjin University Tianjin 300072 China b Department of Mechanical Electronics Shandong Institute of Architecture and Engineering Jinan China
To enhance the coherence, repeatability and reliability of Micro-electro-mechanical system (MEMS) operation and the efficiency of MEMS design and manufacturing, a tangential motion measurement system
来源： cnki会议 评论
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