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Chlorine Gas Sensors with HPS Film on Interdigitated capacitors

稀有金属材料与工程 2006年第A3期35卷 152-154页

作者： Wang Dao Jiang Lingyan Fan Cuiyun Yang Yang Cheng Shuiyuan Research Office of Chemical Sensors College of Environmental and Energy Engineering Beijing University of Technology Beijing 100022 China

The Cl2-sensitive heteropolysiloxanes(HPS) film was formed on the interdigital capacitor based on silicon dioxide by means of sol-gel process and spin-on *** of interdigital capacitance were performed at room temperature for frequencies 100 Hz,1 kHz and 10 *** is shown that there is a linear relationship between the capacitance and the concentration of chlorine *** of the measurement frequency and film thickness of silicate on the sensitivity of the sensor to C12 gas were *** organically modified N,N-diethylaminopropyl-trimethoxysilane (APMS) had a much higher sensitivity.

关键词： chlorine sensor HPS thin film interdigital capacitors

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