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Research progresses of SOI optical waveguide devices and integrated optical switch matrix

Science in China(Series F) 2005年第2期48卷 234-246页

作者： YUJinzhong CHENShaowu XIAJinsong WANGZhangtao FANZhongchao LIYanping LIUJingwei YANGDi CHENYuanyuan StateKeyLaboratoryonintegratedOptoelectronics InstituteofSemiconductorsChineseAcademyofSciencesBeijing100083China

SOI (silicon-on-insulator) is a new material with a lot of important perform- ances such as large index difference, low transmission loss. Fabrication processes for SOI based optoelectronic devices are compatible with conventional IC processes. Having the potential of OEIC monolithic integration, SOI based optoelectronic devices have shown many good characteristics and become more and more attractive recently. In this paper, the recent progresses of SOI waveguide devices in our research group are presented. By highly effective numerical simulation, the single mode conditions for SOI rib waveguides with rectangular and trapezoidal cross-section were accurately investigated. Using both chemical anisotropic wet etching and plasma dry etching techniques, SOI single mode rib waveguide, MMI coupler, VOA (variable optical attenuator), 2×2 thermal-optical switch were successfully designed and fabricated. Based on these, 4×4 and 8×8 SOI optical waveguide integrated switch matrix.s are demonstrated for the first time.

关键词： SOI (silicon-on-insulator) optical waveguide single mode condition MMI (multi-mode interfer- ence) VOA (variable optical attenuator) integrated optical switch matrix.

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