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Flexible inorganic piezoelectric functional films and their applications

Journal of Advanced Ceramics 2023年第3期12卷 433-462页

作者： Liyun Zhen Lijun Lu Yongtao Yao Jingquan Liu Bin Yang National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication Shanghai Jiao Tong UniversityShanghai 200240China Department of Micro/Nano Electronics School of Electronic Information and Electrical EngineeringShanghai Jiao Tong UniversityShanghai 200240China National Key Laboratory of Science and Technology on Advanced Composites in Special Environments Harbin Institute of TechnologyHarbin 150001China

piezoelectric materials play an increasingly important role in energy harvesters,sensors,and *** and thin piezoelectric films have been demonstrated to provide advanced functionalities and improved ***,the research on flexible inorganic piezoelectric thin films has rarely been systematically ***,we summarize the recent advances in the flexible inorganic piezoelectric thin films,focusing on their structural designs,fabrication techniques,and applications in various practical ***,different fabrication techniques suitable for diverse inorganic piezoelectric nanostructures are reviewed,including sol-gel,hydrothermal,electrospinning,and other techniques,and the integration process with flexible substrates is further *** and industrial applications of the flexible piezoelectric thin films are ***,some existing challenges and future perspectives are discussed.

关键词： inorganic piezoelectric thin films fabrication techniques structural design flexible electronics

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