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Effects of precursor solution concentration on the properties and morphology of YBCO films deposited by TFA-MOD method

引用

Rare Metals 2005年第3期24卷 272-276页

作者： CUI Xumei TAO Bowan LI Yanrong LIU Xingzhao CHEN Jiajun XIONG Jie School of Microelectronics and Solid-State Electronics University of Electronics Science and Technology Chengdu 610054 China Panzhihua University Panzhihua 617000 China

Epitaxial YBCO films were deposited on （100） LaAlO3 single-crystal substrates by metalorganic deposition of metal trifluoroacetate precursors with different concentrations. All the YBCO films have Tc around 91 K and Jc excess 2 MA/cm^2 at 77 K in zero field. XRD θ-2θscans show all the films have c-axis normal orientation. The FWHM （full width at half-maximum intensity） values of X-ray ω-scans of （005） reflection are 0.379°, 0.283°, and 0.543° for the YBCO thin films deposited with precursor solution concentrations of 1.52, 1.0, and 0.75 mol/L, respectively. With the concentration of the precursors decreasing, the thickness of the films decreases linearly. SEM micrographs show that porosities in the films become bigger with the precursor solution concentration decreasing. The big porosities in the film with the lowest concentration precursor deteriorate the superconducting property and make it have a wider superconducting transition and a lower Jc.

关键词： inorganic ceramic material YBCO film TFA-MOD precursor solution concentration property morphology

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