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75 GHz germanium waveguide photodetector with 64 Gbps data rates utilizing an inductive-gain-peaking technique

Journal of Semiconductors 2023年第1期44卷 79-84页

作者： Xiuli Li Yupeng Zhu Zhi Liu Linzhi Peng Xiangquan Liu Chaoqun Niu Jun Zheng Yuhua Zuo Buwen Cheng State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics Institute of SemiconductorsChinese Academy of SciencesBeijing 100083China Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering University of Chinese Academy of SciencesBeijing 100049China

High-performance germanium(Ge)waveguide photodetectors are designed and fabricated utilizing the inductivegain-peaking technique.With the appropriate integrated inductors,the 3-dB bandwidth of photodetectors is significantly improved owing to the inductive-gain-peaking effect without any compromises to the dark current and optical responsivity.Measured 3-dB bandwidth up to 75 GHz is realized and clear open eye diagrams at 64 Gbps are observed.In this work,the relationship between the frequency response and large signal transmission characteristics on the integrated inductors of Ge waveguide photodetectors is investigated,which indicates the high-speed performance of photodetectors using the inductive-gainpeaking technique.

关键词： germanium photodetectors inductive-gain-peaking optical interconnection

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