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Power absorption,plasma parameters and wave structure in inductive RF plasma source with low value external magnetic field

引用

Plasma Science and Technology 2020年第11期22卷 60-73页

作者： Elena KRALKINA Konstantin VAVILIN Ilya ZADIRIEV Alexander NIKONOV Physical Electronics Department Faculty of PhysicsLomonosov Moscow State UniversityMoscow 119991Russia

The efficiency of radio-frequency(RF)power absorption,RF magnetic field structure and plasma parameters were measured in cylindrical inductive RF plasma sources 20 cm in diameter and 22,32,53 cm in length with a low value external magnetic *** experiments were carried out in argon at pressures of 13-140 m *** RF power supply changed from 200 W to 800 *** spiral antenna was used for sustaining the *** was shown that efficiency of RF power absorption depended nonlinearly on the external magnetic field *** maximal values of the RF power absorption efficiency,the axial distributions of longitudinal Bzand azimuthal Bφcomponents of RF magnetic field manifested the formation of the partially standing wave with a half wavelength close to 8 *** the same conditions,the axial dependence of the radial RF magnetic field component Brdiffered *** was concluded that the Bz and Bφamplitudes were largely determined by the RF field of Trivelpiece-Gould wave,while Br amplitude represented the radial RF field of the helicon wave.

关键词： radio-frequency plasma helicon Trivelpiece-Gould waves inductive discharge

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