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Advanced Process and Electron Device Technology
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Tsinghua Science and Technology 2022年 第3期27卷 534-558页
作者: Dan Zhang Xiaojing Su Hao Chang Hao Xu Xiaolei Wang Xiaobin He Junjie Li Fei Zhao Qide Yao Yanna Luo Xueli Ma Hong Yang Yongliang Li Zhenhua Wu Yajuan Su Tao Yang Yayi Wei Anyan Du Huilong Zhu Junfeng Li Huaxiang Yin Jun Luo Tianchun Ye Wenwu Wang Institute of Microelectronics Chinese Academy of SciencesBeijing 100029China University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100049China
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