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RESEARCH OF NANOMETER PRECISION POSITIONING STAGE WITHOUT FEEDBACK CONTROL
RESEARCH OF NANOMETER PRECISION POSITIONING STAGE WITHOUT FE...
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2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会
作者： SUN Shufeng School of Mechanical and Electrical Engineering, Wenzhou University, Wenzhou, Zhejiang Province, 325035, PR China
To adapt the miniaturized development tendency of nanometer positioning devices, a new type of two-dimensional micro-displacement stage which can implement nanometer-level ultra-precision positioning
来源： cnki会议 评论
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