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Measurement of thermal boundary conductance between metal and dielectric materials using femtosecond laser transient thermoreflectance technique

引用

Science China(Technological Sciences) 2012年第4期55卷 1044-1049页

作者： ZHANG ChungWei BI KeDong WANG JianLi NI ZhongHua CHEN YunFei JiangSu Key Laboratory for Design and Manufacture of Micro-Nano Biomedical Instruments School of Mechanical EngineeringSoutheast UniversityNanjing 211189China

The thermal boundary conductance of Al/SiO2, Al/Si, Au/SiO2, and Au/Si are measured by a femtosecond laser transient thermoreflectance technique. The distinct differences of the interfacial thermal conductance between these samples are observed. For the same metal film, the thermal boundary conductance between metal and substrate decreases with the thermal conductivity of the substrate. The measured results are explained with the phonon diffusion mismatch model by introducing a phonon transmission coefficient across the interface.

关键词： femtosecond transient thermoreflectance technique thermal boundary conductance thermal model phonon transimis- sion probability

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