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Optical study of Ba(Mn_xTi_(1-x)O_3) thin films by spectroscopic ellipsometry

Chinese Physics B 2013年第11期22卷 589-593页

作者：张婷殷江丁玲红张伟风 National Laboratory of Solid State Microstructures Nanjing University Key Laboratory of Photovoltaic Materials of Henan Province School of Physics and Electronics Henan University

Stoichiometric Ba（MnxTi（1-x）O3）（BMT） thin films with various values of x were deposited on Si（111） substrates by the sol-gel technique. The influence of Mn content on the optical properties was studied by spectroscopic ellipsometry （SE） in the UV–Vis–NIR region. By fitting the measured ellipsometric parameter （Ψ and Δ） with a four-phase model （air/BMT＋voids/BMT/Si（111））, the key optical constants of the thin films have been obtained. It was found that the refractive index n and the extinction coefficient k increase with increasing Mn content due to the increase in the packing density. Furthermore, a strong dependence of the optical band gap Eg on Mn/Ti ratios in the deposited films was observed, and it was inferred that the energy level of conduction bands decreases with increasing Mn content.

关键词： Ba(MnxTi(1-x)O3) (BMT) thin films spectroscopic ellipsometry refractive index extinction co-efficient

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