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Determination of electron Collision cross sections Set for Tetramethysilane

Plasma Science and Technology 2007年第6期9卷 756-759页

作者： Marie-Claude BORDAGE Toulouse University LAPLACE UMR 5213 CNRS-UPSPaul Sabatier University118Route de Narbonne31062 Toulouse CedexFrance

A swarm analysis technique based on the solution of the Boltzmann equation is used to derive low energy electron collision cross sections for tetramethylsilane （TMS）. The calculated swarm parameters with this first available cross sections set is consistent with measured values of the swarm parameters. Calculations of transport parameters in mixtures of TMS with argon are also presented.

关键词： tetramethysilane electron cross section swarm parameters

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