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机构

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作者

  • 1 篇 yutai wei
  • 1 篇 hao peng
  • 1 篇 ruirui huang
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语言

  • 1 篇 英文
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On Switching Control Design for Rigid-Flexible Coupling Motion Stage
On Switching Control Design for Rigid-Flexible Coupling Moti...
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第三十九届中国控制会议
作者： Yutai Wei Ruirui Huang Hao Peng Zhijun Yang State Key Laboratory of Electronics Precision Manufacturing Technology and Equipment Guangdong University of Technology Guangdong Provincial Key Laboratory of Micro-Nano Manufacturing Technology and Equipment Guangdong University of Technology
With the development of electronics manufacturing,high-precision stage needs to meet the growing demand for performance.A novel structure,rigid-flexible coupling motion stage is featured with high control performance ... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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