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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 掩模台
  • 1 篇 运动控制
  • 1 篇 djerk前馈
  • 1 篇 机械模态

机构

  • 1 篇 上海微电子装备股...
  • 1 篇 桂林电子科技大学

作者

  • 1 篇 张志钢
  • 1 篇 谈恩民
  • 1 篇 张霖
  • 1 篇 石婷婷

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=djerk前馈"
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排序:
光刻机掩模台djerk前馈控制算法研究
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仪器仪表用户 2019年 第5期26卷 1-4,32页
作者: 石婷婷 谈恩民 张志钢 张霖 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 广西桂林541004 上海微电子装备(集团)股份有限公司 上海201203
针对光刻机掩模台控制系统中存在影响控制精度的机械模态,提出了一种djerk前馈控制方法。该方法在加速度前馈基础上引入一种新的前馈。该算法利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置进行仿真验证,与传统的加速度前馈控制方法相比,传统的加... 详细信息
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