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Dielectric tunable characteristics of compositional-gradient BaTi_(1-x)Sn_(x)O_(3)thin films

Journal of Advanced Dielectrics 2021年第4期11卷 46-55页

作者： Chenjing Wu Manwen Yao Functional Materials Research Laboratory School of Materials Science&Engineering Tongji University No.4800 Cao’an Road Shanghai 201804P.R.China

compositional-gradient BaTi_(1-x)Sn_(x)O_(3)thin films on Pt(100)/Ti/SiO_(2)/Si substrates are fabricated with sol-gel using spin *** of the structures of the prepared thin films are of single-phase crystalline perovskite with a dense and crack-free surface ***10/15/20 thin film exhibits enhanced temperature stability in its dielectric *** temperature coefficient of capacitance TCC_(20-150)in the temperature range from 20°C to 150°C is−0.9×10^(−4)/°C and that of TCC20-(-95)in the temperature range from 20°C to−95°C is−3.8×10^(−4)/°***,the thin films show low leakage current density and dielectric *** and stable dielectric tunable performances are found in BTS10/15/20 thin films:the dielectric tunability of the thin films is around 20.1%under a bias voltage of 8 V at 1 MHz and the corresponding dielectric constant is in the range between 89 and 111,which is beneficial for impedance matching in *** tunability can be obtained under a low tuning voltage,which helps ensure *** simulated resonant frequency of the compositional-gradient BTS thin films depends on the bias electric field,showing compositional-gradient BTS thin films could be used in electrically tunable components and *** prop-erties make compositional-gradient BTS thin films a promising candidate for dielectric tuning.

关键词： Barium stannate titanate compositional-gradient thin films dielectric tunable performance temperature stability

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