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Growth of centimeter scale Nb_(1−x)W_(x)Se_(2) monolayer film by promoter assisted liquid phase chemical vapor deposition

引用

Nano Research 2022年第3期15卷 2608-2615页

作者： Boxing An Yang Ma Feihong Chu Xuhong Li Yi Wu Congya You Wenjie Deng Songyu Li Yongzhe Zhang Key Laboratory of Advanced Functional Materials Ministry of EducationCollege of Materials Science and EngineeringBeijing University of TechnologyBeijing 100124China Key Laboratory of Optoelectronics Technology of Education Ministry of China Faculty of Information TechnologyBeijing University of TechnologyBeijing 100124China School of Physics Beihang UniversityBeijing 100191China

Two-dimensional(2D)transition-metal dichalcogenide materials(TMDs)alloys have a wide range of applications in the field of optoelectronics due to their capacity to achieve wide modulation of the band gap with fully tunable ***,it is still a challenge for growing alloys with uniform components and large lateral size due to the random distribution of the crystal nucleus ***,we applied a simple but effective promoter assisted liquid phase chemical vapor deposition(CVD)method,in which the quantity ratio of promoter to metal precursor can be controlled precisely,leading to tiny amounts of transition metal oxide precursors deposition onto the substrates in a highly uniform and reproducible manner,which can effectively control the uniform distribution of element components and nucleation *** this method,a series of monolayer Nb_(1−x)W_(x)Se_(2)alloy films with fully tunable compositions and centimeter scale have been successfully synthesized on sapphire *** controllable approach opens a new way to produce large area and uniform 2D alloy film,which has the potential for the construction of optoelectronic devices with tailored spectral responses.

关键词： centimeter scale Nb_(1−x)W_(x)Se_(2) promoter assisted liquid phase chemical vapor deposition

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