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文献类型

  • 1 篇 学位论文

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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 信息与通信工程

主题

  • 1 篇 uv和e-uv洗净
  • 1 篇 cj洗净
  • 1 篇 纯水和超纯水
  • 1 篇 brush洗净
  • 1 篇 精细洗净技术
  • 1 篇 tft-lcd
  • 1 篇 高压喷射洗净
  • 1 篇 超声波洗净
  • 1 篇 气刀干燥
  • 1 篇 红外干燥

机构

  • 1 篇 上海交通大学

作者

  • 1 篇 邱永亮

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=brush洗净"
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精细洗净技术在TFT-LCD制造中的应用研究
精细洗净技术在TFT-LCD制造中的应用研究
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作者： 邱永亮 上海交通大学
学位级别：硕士
2000年以后国内的TFT-LCD产业进入了高速发展的阶段,竟争也越来越激烈,提高产品合格率越来越成为TFT-LCD制造企业生存的关键。在TFT-LCD制造工程中各种污染物一直是造成产品不良的最重要原因,所以在生产过程中如何最大限度的降低各类污... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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