检索结果-南通市图书馆

boron-rich layer removal and surface passivation of boron-doped p–n silicon solar cells

Journal of Semiconductors 2018年第12期39卷 19-22页

作者： Caixia Hou Rui Jia Ke Tao Shuai Jiang Pengfei Zhang Hengchao Sun Sanjie Liu Mingzeng Peng Xinhe Zheng School of Mathematics and Physics Beijing Key Laboratory for Magneto-Photoelectrical Composite and Interface ScienceUniversity of Science and Technology Beijing Institute of Microelectronics Chinese Academy of Sciences

In boron-doped p+-n crystalline silicon（Si） solar cells, p-type boron doping control and surface passivation play a vital role in the realization of high-efficiency and low cost pursuit. In this study, boron-doped p+-emitters are formed by boron diffusion in an open-tube furnace using borontribromide（BBr3） as precursor. The formed emitters are characterized in detail in terms of shape of the doping profile, surface doping concentration, junction depth, sheet resistance and removal of the boron-rich layer（BRL）. In the aspect of BRL removal, three different methods were adopted to investigate their influence on device performance. The results demonstrate that our proposed chemical etch treatment（CET） with the proper etching time could be an effective way to remove the *** removal of the BRL, Al;O;/SiN;stacks are deposited by atomic layer deposition（ALD） and plasma-enhanced chemical vapor deposition（PECVD） to passivate the cell surface. It was found that a reasonably-high implied Voc of 680 mV has been achieved for the fabricated n-type Si solar cells.

关键词： p^+–n Si solar cell boron-rich layer Al_2O_3/SiN_x stack surface passivation

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：