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A New atmospheric pressure microwave plasma Source (APMPS)

plasma Science and Technology 2008年第1期10卷 83-88页

作者：刘亮张贵新李银安朱志杰王新新罗承沐 Department of Electrical Engineering and Applied Electronic Technology Tsinghua University Beijing 100084 China Institute of Physics Chinese Academy of Sciences Beijing 100080 China

An atmospheric pressure microwave plasma source （APMPS） that can generate a large volume of plasma at an atmospheric pressure has been developed at Tsinghua University. This paper presents the design of this APMPS, the theoretical consideration of microwave plasma ignition and the simulation results, including the distributions of the electric field and power density inside the cavity as well as the accuracy of the simulation results. In addition, a method of producing an atmospheric pressure microwave plasma and some relevant observations of the plasma are also provided. It is expected that this research would be useful for further developing atmospheric pressure microwave plasma sources and expanding the scope of their applications.

关键词： microwave plasma atmospheric pressure microwave plasma

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