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Computer simulation of the bombardment of a copper film on graphene with argon clusters

Chinese Physics B 2015年第2期24卷 105-108页

作者： A.Y.Galashev O.R.Rakhmanova Institute of Industrial Ecology Ural BranchRussian Academy of Sciences

The process of graphene cleaning of a copper film by bombarding it with Ar_（13） clusters is investigated by the molecular dynamics *** kinetic energies of the clusters are 5,10,20,and 30 eV and the incident angles are θ= 90°,75°,60°,45°,and 0°.It is obtained that the cluster energy should be in the interval 20 eV-30 eV for effective graphene *** is no cleaning effect at vertical incidence（θ =0°） of Ar_（13） *** bombardments at 45° and 90° incident angles are the most effective on a moderate and large amount of deposited copper,respectively.

关键词： argon cluster bombardment copper film graphene

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