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作者

  • 2 篇 王辰伟
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  • 1 篇 马锁辉
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  • 1 篇 张晓强
  • 1 篇 杨琰

语言

  • 2 篇 英文
检索条件"主题词=alkaline barrier slurry"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
alkaline barrier slurry applied in TSV chemical mechanical planarization
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2014年 第2期35卷 137-140页
作者: 马锁辉 王胜利 刘玉岭 王辰伟 杨琰 Institute of Microelectronics Hebei University of Technology Hebei University of Technology
We have proposed a TSV (through-silicon-via) alkaline barrier slurry without any inhibitors for barrier CMP (chemical mechanical planarization) and investigated its CMP performance. The characteristics of removal ... 详细信息
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An advanced alkaline slurry for barrier chemical mechanical planarization on patterned wafers
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2012年 第4期33卷 140-143页
作者: 王辰伟 刘玉岭 牛新环 田建颖 高宝红 张晓强 Institute of Microelectronics Hebei University of TechnologyTianjin 300130China Market Information Department of CSPC Zhongqi Pharmaceutical Technology(Shijiazhuang)Co. LtdShijiazhuang 050051China
We have developed an alkaline barrier slurry (named FA/O slurry) for barrier removal and evaluated its chemical mechanical planarization (CMP) performance through comparison with a commercially developed barrier s... 详细信息
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