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  • 3 篇 期刊文献

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  • 3 篇 工学
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    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 信息与通信工程
  • 2 篇 理学
    • 2 篇 物理学
    • 2 篇 化学

主题

  • 3 篇 a-igzo薄膜
  • 2 篇 椭圆偏振光谱
  • 1 篇 溶液法
  • 1 篇 溶胶-凝胶法
  • 1 篇 致密性
  • 1 篇 h2o2溶液
  • 1 篇 退火气氛
  • 1 篇 薄膜晶体管

机构

  • 2 篇 江南大学
  • 1 篇 上海大学
  • 1 篇 机械工业第六设计...

作者

  • 2 篇 殷波
  • 2 篇 钟传杰
  • 2 篇 汤猛
  • 2 篇 李勇男
  • 1 篇 向超
  • 1 篇 张建华
  • 1 篇 潘东
  • 1 篇 李喜峰
  • 1 篇 李倩

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=a-IGZO薄膜"
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高压退火气氛对溶液法制备a-igzo薄膜光学特性的影响
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微电子学 2018年 第5期48卷 690-694页
作者： 李勇男 向超 殷波 潘东 汤猛 钟传杰 江南大学物联网工程学院 江苏无锡214122 机械工业第六设计研究院有限公司 郑州450007
利用椭圆偏振光谱仪和原子力显微镜,研究了相同温度下不同退火气氛及压强处理对溶液旋涂法制备a-igzo光学特性和薄膜微观结构的影响。实验结果表明,当退火气氛为O_2时,压强由0.1MPa增加到1.5MPa,薄膜的光学带隙由3.23eV增大到3.31eV,表... 详细信息
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H_2O_2对溶液法制备a-igzo薄膜光学特性的影响
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液晶与显示 2016年 第12期31卷 1124-1130页
作者： 汤猛 李勇男 殷波 钟传杰 江南大学物联网工程学院 江苏无锡214122
基于溶液旋涂法和高压退火工艺制备了a-igzo薄膜。采用椭圆偏振光谱分析仪以及原子力显微镜研究和分析了H_2O_2对薄膜的表面结构和光学特性的影响。实验结果表明,a-igzo前驱液中不含H_2O_2的薄膜,退火温度从220℃升高到300℃,薄膜的光... 详细信息
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热处理气氛对溶胶-凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响
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功能材料 2013年 第3期44卷 442-445,450页
作者： 李倩 李喜峰 张建华 上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室 上海200072
采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物(a-igzo)薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-igzo形成机理,并研究了热处理对a-igzo薄膜的结构和光电性能影响。并用于薄膜晶体管(TFT)的有源层,制备的a-igzo TFT,其具有明显的转移特性,其关态电... 详细信息
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