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Structure and properties of zrcoce getter film with Pd protection layer

Rare Metals 2021年第9期40卷 2579-2583页

作者： Jian-Dong Cui Hua-Ting Wu Yan Zhang Yao-Hua Xu Zhi-Min Yang Advanced Electronic Materials Institute GRIMAT Engineering Institute Co.LtdBeijing 101407China

zrcoce getter films with thickness of ~2.3 lm were deposited on Si(100) wafers by direct current(DC)magnetron sputtering process. A 400-nm-thick Pd protection layer was then deposited on the as-deposited zrcoce film without exposure to atmosphere. Microstructure, surface morphology and surface chemical state of the films were analyzed. Moreover, hydrogen sorption properties were determined. The results show that the zrcoce film displays a cauliflower-like morphology and a porous columnar-like structure which is composed of nanocrystal grains. The Pd protection layer tightly adheres to the surface of the zrcoce film and efficiently prevents the oxidation of Zr under exposure to atmosphere. We find that the hydrogen sorption properties of the Pd-zrcoce film are significantly improved,in comparison with those of the as-deposited zrcoce film.

关键词： Getter films zrcoce Protection layer Sorption property

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