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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 冶金工程

主题

  • 1 篇 zr-ge-n
  • 1 篇 thermal
  • 1 篇 diffusion
  • 1 篇 films
  • 1 篇 micro-structural
  • 1 篇 barrier
  • 1 篇 stability

机构

  • 1 篇 cas xian inst op...
  • 1 篇 sichuan univ ins...
  • 1 篇 xi an jiao tong ...

作者

  • 1 篇 xu k. w.
  • 1 篇 liu b.
  • 1 篇 yang j. j.
  • 1 篇 jiao g. h.
  • 1 篇 liao x. d.

语言

  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=Zr-Ge-N"
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The Characterization of Sputtered zr-ge-n Thin Films as Diffusion Barriers Between Copper and Silicon
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稀有金属材料与工程 2012年 第S1期41卷 120-123页
作者： Yang, J. J. Liu, B. Liao, X. D. Jiao, G. H. Xu, K. W. Sichuan Univ Inst Nucl Sci & Technol Minist Educ Key Lab Radiat Phys & Technol Chengdu 610064 Peoples R China CAS Xian Inst Opt & Precis Mech State Key Lab Transient Opt & Photon Xian 710049 Peoples R China Xi An Jiao Tong Univ State Key Lab Mech Behav Mat Xian 710049 Peoples R China
The main purpose of the present micro-structural analysis by transmission electron microscopy(TEM)and X-ray diffraction(XRD)was to investigate whether amorphous zr-ge-n films are a potential candidate as a diffusion b... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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