检索结果-南通市图书馆

真空科学与技术学报 2018年第6期38卷 479-486页

作者：张姣姣王铁钢阎兵艾业华王妍刘艳梅邵娜天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室天津300222 国网辽宁省电力有限公司沈阳供电公司营业及电费室沈阳110003

采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术,通过改变zr b2靶溅射功率来调节zr-b-n涂层的成分和微结构,系统研究了zr b2靶功率对涂层成分、微观结构和性能的影响。研究结果表明:随着zr b2靶功率的增加,zr-b-n涂层形成了以非晶a-bn包裹... 详细信息

采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术,通过改变zr b2靶溅射功率来调节zr-b-n涂层的成分和微结构,系统研究了zr b2靶功率对涂层成分、微观结构和性能的影响。研究结果表明:随着zr b2靶功率的增加,zr-b-n涂层形成了以非晶a-bn包裹着纳米晶的纳米复合结构;涂层的硬度由36.76下降到16.1 GPa;当zr b2靶溅射功率为0.4和0.6 k W时,表征膜/基结合强度的临界载荷分别达到最小值29.28和最大值43.85 n。摩擦系数和磨损率具有相同的变化趋势,均随zr b2靶溅射功率的增加先增大后减小,当zr b2靶溅射功率为0.8 k W时,zr-b-n涂层摩擦系数较低,抗磨损能力亦最强。

关键词： zr-b-n涂层纳米复合结构力学性能摩擦磨损

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

还原性气氛制备zr-b-n纳米复合涂层的结构及性能分析

引用

表面技术 2022年第9期51卷 83-90,101页

作者：张纪福刘艳梅张涛柯培玲张翔宇丁洋 Kim Kwang Ho 王铁钢天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室天津300222 中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江宁波315201 Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials Pusan National UniversityBusan 609-735South Korea

目的制备高纯度、超硬、高耐磨的zr-b-n纳米复合涂层。方法在反应气体中掺入还原性气体H_(2),利用氢元素强还原性去除真空室以及反应气氛中残留的O杂质,采用脉冲直流磁控溅射技术,通过调节n_(2)+H_(2)混合气体流量制备高纯度zr-b-n涂层... 详细信息

目的制备高纯度、超硬、高耐磨的zr-b-n纳米复合涂层。方法在反应气体中掺入还原性气体H_(2),利用氢元素强还原性去除真空室以及反应气氛中残留的O杂质,采用脉冲直流磁控溅射技术,通过调节n_(2)+H_(2)混合气体流量制备高纯度zr-b-n涂层。利用扫描电镜、纳米压痕仪、摩擦磨损试验机等设备对涂层的微观结构、力学性能和摩擦性能进行测试,并分析其变化机理。结果随着n_(2)+H_(2)流量的增加,zr-b-n涂层内n含量在n_(2)+H_(2)流量为10 mL/min时达到最高。从截面形貌可以看出,涂层结构由粗大的柱状晶逐步转变为玻璃状细小柱状晶结构,涂层更加致密,呈现典型的纳米复合结构。微量H元素的掺入,减少了涂层制备过程中O相关化学键的生成,制备出的zr-b-n涂层晶粒的生长环境得到改善。在n_(2)+H_(2)流量为10 mL/min时,涂层的硬度和弹性模量达到最大值40.26 GPa和532.98 GPa,临界载荷最大约为60.1 n,摩擦系数较小,为0.72,磨损率在此时最低,为1.12×10^(–5)mm^(3)/(n·m)。结论当n_(2)+H_(2)流量为10 mL/min时,制备出了超硬zr-b-n纳米复合涂层。适量氢元素的掺入,充分去除真空室内氧杂质,改善了涂层中晶粒的生长环境,有效地提高涂层的硬度及摩擦磨损性能。

关键词：还原性反应气氛 zr-b-n涂层磁控溅射纳米复合涂层微观结构力学性能

来源：

维普期刊数据库博看期刊

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

热处理对zr-b-n纳米复合涂层显微结构的影响

引用

真空科学与技术学报 2018年第3期38卷 214-220页

作者：董玉王铁钢郭玉垚李杰万文强天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室天津300222

利用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术制备zr-b-n涂层,研究沉积过程中的氮气流量和热处理温度对涂层显微结构的影响。采用电子探针显微分析仪、扫描电镜和X射线衍射仪对涂层的成分、断面形貌及结构进行观察和分析。结果表明:热处... 详细信息

利用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术制备zr-b-n涂层,研究沉积过程中的氮气流量和热处理温度对涂层显微结构的影响。采用电子探针显微分析仪、扫描电镜和X射线衍射仪对涂层的成分、断面形貌及结构进行观察和分析。结果表明:热处理温度为600℃时,涂层表面开始形成氧化膜,部分锆离子与氧反应生成(116)晶面取向的zr_3O;在n_2流量为6 m L/min(标准状态)时,经热处理后涂层结构仍以非晶相为主;当氮气流量为10 m L/min时,随着热处理温度升高,涂层结构逐渐变得疏松,氧化反应加剧。氮分压越高制备的涂层结构越致密,抗氧化能力越强;当热处理温度达800℃时,涂层表面开始出现裂纹,部分涂层脱离基体,严重失效。

关键词：高功率脉冲磁控溅射 zr-b-n涂层热处理显微结构

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：