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脉冲激光烧蚀沉积znse簿膜的研究
脉冲激光烧蚀沉积ZnSe簿膜的研究
收藏 引用
第四届中国功能材料及其应用学术会议
作者: 许宁 杜元成 应质峰 凌浩 李富铭 复旦大学光科学与工程系三束材料改性国家重点实验室
我们用248nm 的KrF 准分子脉冲激光烧蚀znse 靶材沉积znse薄膜。靶采用多晶znse片,衬底采用抛光GaAs(100)。衬底预处理采用化学刻蚀和高温处理。原子力显微镜(AFM)观察显示在GaAs(100)沉积的znse薄膜的平均粗糙度为3~4 nm。X 射线衍射(... 详细信息
来源: cnki会议 评论