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    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 冶金工程
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 电子束光刻
  • 1 篇 大深宽比
  • 1 篇 au光栅
  • 1 篇 金电镀
  • 1 篇 x射线准直器

机构

  • 1 篇 复旦大学

作者

  • 1 篇 童徐杰
  • 1 篇 李艺杰
  • 1 篇 穆成阳
  • 1 篇 肖君
  • 1 篇 陈宜方

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=X射线准直器"
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电子束直写大深宽比Si_(3)N_(4)薄膜支撑的光栅x射线准直器
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引用
光学精密工程 2022年 第10期30卷 1181-1188页
作者： 李艺杰 肖君 陈宜方 童徐杰 穆成阳 复旦大学信息科学与工程学院纳米光刻与应用科研组 上海200433
为了开发新的x射线准直器,利用电子束光刻(EBL)技术,结合电镀和湿法化学刻蚀工艺,在悬空的Si_(3)N_(4)隔膜上制作了大面积、高深宽比、微米周期的Au光栅。调整场拼接区域的曝光剂量解决了大面积的EBL光刻问题;用加强筋结构克服了制作高... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 博看期刊 评论
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