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Nonlinear static and dynamic responses of an electrically actuated viscoelastic microbeam

Acta Mechanica Sinica 2009年第2期25卷 211-218页

作者： Y.M.Fu J.Zhang College of Mechanics and Aerospace Hunan University

On the basis of the Euler-Bernoulli hypothesis, nonlinear static and dynamic responses of a viscoelastic microbeam under two kinds of electric forces [a purely direct current （DC） and a combined current composed of a DC and an alternating current] are studied. By using Taylor series expansion, a governing equation of nonlinear integro-differential type is derived, and numerical analyses are performed. When a purely DC is applied, there exist an instantaneous pull-in voltage and a durable pull-in voltage of which the physical meanings are also given, whereas under an applied combined current, the effect of the element relaxation coefficient on the dynamic pull-in phenomenon is observed where the largest Lyapunov exponent is taken as a criterion for the dynamic pull-in instability of viscoelastic microbeams.

关键词： MEMS viscoelastic microbeam Nonlineardynamics

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