咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

限定检索结果

文献类型

  • 1 篇 学位论文

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 uafm
  • 1 篇 pecvd
  • 1 篇 介电常数
  • 1 篇 多孔氧化硅
  • 1 篇 弹性模量
  • 1 篇 参考法
  • 1 篇 薄膜

机构

  • 1 篇 北京印刷学院

作者

  • 1 篇 王灿

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=UAFM"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
详细 简洁
排序：
基于uafm纳米多孔氧化硅薄膜的制备及弹性模量的检测
基于UAFM纳米多孔氧化硅薄膜的制备及弹性模量的检测
收藏
分享
引用
作者： 王灿 北京印刷学院
学位级别：硕士
随着大规模集成电路向高密度、高速方面的发展,器件的特征尺寸已减小至纳米尺寸,这必然要求电子元器件和微型集成电路中有较低介电常数(衡量绝缘体储存电能的性能)的绝缘介质薄膜来降低线间串扰和功耗等。纳米多孔氧化硅具有低介电常数... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页 <<  < 1 >  >>
回到顶部
执行限定条件