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toward mid-infrared nonlinear optics applications of silicon carbide microdisks engineered by lateral under-etching[Invited]
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Photonics Research 2018年 第5期6卷 I0099-I0106页
作者： DAVID ALLIOUX ALI BELAROUCI DARREN HUDSON ERIC MAGI MILAN SINOBAD GUILLAUME BEAUDIN ADRIEN MICHON NEETESH SINGH REGIS OROBTCHOUK CHRISTIAN GRILLET Universite de Lyon Institut des Nanotechnologie de Lyon69131 EcullyFrance Department of Electrical Engineering Universite de SherbrookeSherbrookeQC JIK 2R1Canada School of Physics University of SydneySydneyNSW 2006Australia RMIT School of Electrical and Computer Engineering MelbourneVlC 3000Australia Universite Cote d'Azur CNRSCRHEAFrance
We report the fabrication and characterization of silicon carbide microdisks on top of silicon pillars suited for applications from near-to mid-infrared. We probe 10 μm diameter disks with different under-etching dep... 详细信息
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