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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 离子束辅助沉积
  • 1 篇 tialn/tib2纳米多...
  • 1 篇 硬度

机构

  • 1 篇 天津师范大学

作者

  • 1 篇 李德军
  • 1 篇 董磊
  • 1 篇 张帅
  • 1 篇 孙延东
  • 1 篇 刘梦寅
  • 1 篇 曹猛
  • 1 篇 颜景岳

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=TiAlN/TiB2纳米多层膜"
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离子束辅助沉积法制备tialn/tib_2纳米多层膜的研究
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天津师范大学学报（自然科学版） 2011年 第3期31卷 45-48页
作者： 孙延东 颜景岳 张帅 董磊 曹猛 刘梦寅 李德军 天津师范大学物理与电子信息学院 天津300387
运用离子束辅助沉积法(IBAD)制备了一系列具有不同调制比例的tialn/tib2纳米多层膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕等表征手段研究了薄膜调制比例对其硬度、内应力和膜基结合力等力学性质的影响.结果表明:随着调制... 详细信息
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