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tialn硬质涂层的研究进展

热加工工艺 2010年第20期39卷 104-109页

作者：王均涛刘平李伟郑康培上海理工大学机械工程学院上海200093 上海理工大学材料科学与工程学院上海200093

综述了tialn硬质涂层的结构、性能,以及以tialn为基的多元涂层和纳米技术涂层的国内外最新研究现状。对tialn涂层进行多元化、多层化以及纳米技术的应用是提高该涂层综合性能的方法,也是该涂层今后的发展方向。

关键词： tialn涂层纳米涂层多元涂层力学性能

磁控溅射tialn涂层抗氧化性能的研究进展

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材料导报 2013年第21期27卷 14-18页

作者：张贝贝张程煜折洁乔生儒西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室西安710072

简述了tialn涂层的应用领域、氧化机理以及采用磁控溅射制备该涂层的方法,分析了制备过程中N2分压、Al靶功率以及基体温度对涂层抗氧化性能的影响规律。同时指出了致密、膜基结合力高的涂层具有较高的抗氧化性;加入其他合适元素和合理... 详细信息

简述了tialn涂层的应用领域、氧化机理以及采用磁控溅射制备该涂层的方法,分析了制备过程中N2分压、Al靶功率以及基体温度对涂层抗氧化性能的影响规律。同时指出了致密、膜基结合力高的涂层具有较高的抗氧化性;加入其他合适元素和合理设计过渡层不仅可以提高涂层与基体的物理匹配程度,减小内应力,同时也可提高膜基结合力,改善涂层的热力学稳定性及抗氧化性能,将成为今后的研究趋势。

关键词：磁控溅射 tialn涂层氧化机理工艺参数抗氧化性过渡族元素多元多层

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物理气相沉积tialn涂层的研究进展

材料导报 2011年第11期25卷 25-29页

作者：曹华伟张程煜乔生儒曹晓雨西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室西安710072

概述了物理气相沉积tialn涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对tialn涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响。目前制备的tialn涂层存在残余应力较大、表面... 详细信息

概述了物理气相沉积tialn涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对tialn涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响。目前制备的tialn涂层存在残余应力较大、表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题。为进一步促进tialn涂层的应用,今后还需探索该涂层的制备方法,优化其制备工艺。多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向。

关键词： tialn涂层制备方法晶体结构硬度高温抗氧化性

弧电流对多弧离子镀tialn涂层表面形貌和性能的影响

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材料保护 2018年第6期51卷 74-78页

作者：周军樊湘芳李涛邱长军李怀林南华大学机械工程学院湖南衡阳421001 国家电投集团中央研究院北京102209

为优化tialn涂层的沉积参数,采用多弧离子镀技术在不同弧电流条件下于锆合金表面制备tialn涂层。利用扫描电子显微镜、能量色散X射线谱、高温热处理炉、划痕仪和X射线衍射仪分析弧电流对tialn涂层表面形貌、元素成分、高温抗氧化性、膜... 详细信息

为优化tialn涂层的沉积参数,采用多弧离子镀技术在不同弧电流条件下于锆合金表面制备tialn涂层。利用扫描电子显微镜、能量色散X射线谱、高温热处理炉、划痕仪和X射线衍射仪分析弧电流对tialn涂层表面形貌、元素成分、高温抗氧化性、膜基结合力及物相结构的影响。结果表明:随着弧电流的升高,tialn涂层表面大颗粒数目逐渐增多,但涂层变得更加致密、孔隙率逐渐降低;弧电流为70 A时所制备的涂层高温抗氧化性能最好;膜基结合力随着弧电流的增加呈现出先增大后减小的趋势,弧电流为60 A时所制备的涂层膜基结合力最大,为32 N;弧电流为50 A时,涂层中物相Ti3AlN在(111)晶面、物相AlN在(100)晶面表现出择优取向。

关键词： tialn涂层多弧电流离子镀高温抗氧化性结合力表面形貌物相结构

钛合金表面电弧离子镀tialn涂层的抗高温氧化性能研究

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材料保护 2007年第1期40卷 28-31页

作者：汝强胡社军黄拿灿赵灵智邱秀丽胡显奇广东工业大学材料与能源学院广东广州510006 深圳市黄金屋真空科技有限公司广东深圳518053

运用电弧离子镀技术,采用热等静压Ti0.5A l0.5合金靶在航空用钛合金TC11基片上制备了TiA lN防护涂层,并采用SEM、AES、XPS等方法研究了涂层在空气中的抗高温氧化性能。结果表明,涂层发生了选择性氧化,外层生成富A l层而内层形成富Ti层;... 详细信息

运用电弧离子镀技术,采用热等静压Ti0.5A l0.5合金靶在航空用钛合金TC11基片上制备了TiA lN防护涂层,并采用SEM、AES、XPS等方法研究了涂层在空气中的抗高温氧化性能。结果表明,涂层发生了选择性氧化,外层生成富A l层而内层形成富Ti层;同时进行了涂层的室温干摩擦试验,结果表明,TC11钛合金基体同GCr15钢珠的磨损表现出黏着磨损的特征,磨痕宽度约100μm,而TiA lN涂层通过提高表面硬度改善了钛合金的黏着磨损状况。

关键词： tialn涂层电弧离子镀 TC11钛合金抗氧化性磨掼洼能

电弧离子镀和磁控溅射tialn涂层的耐蚀性能

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热加工工艺 2013年第24期42卷 184-186页

作者：潘晓龙王少鹏李争显赵永庆西北有色金属研究院陕西西安710016

分别采用电弧离子镀和磁控溅射工艺在TC4钛合金基材表面制备了tialn涂层。利用扫描电镜、能谱仪和XRD分析了两种方法制备tialn涂层的表面形貌、表面成分和相结构,并对tialn涂层的耐蚀性等进行了分析。结果表明,磁控溅射制备的tialn涂层... 详细信息

分别采用电弧离子镀和磁控溅射工艺在TC4钛合金基材表面制备了tialn涂层。利用扫描电镜、能谱仪和XRD分析了两种方法制备tialn涂层的表面形貌、表面成分和相结构,并对tialn涂层的耐蚀性等进行了分析。结果表明,磁控溅射制备的tialn涂层较电弧离子镀的致密、均匀,耐蚀性要好。

关键词： TC4钛合金 tialn涂层电弧离子镀磁控溅射耐蚀性

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划痕法测定tialn涂层结合强度的研究

表面技术 2013年第5期42卷 107-111页

作者：黄珂杨伏良陈力学马凯郭磊中南大学材料科学与工程学院长沙410083 中南大学有色金属材料科学与工程教育部重点实验室长沙410083 长沙神弧离子镀膜有限公司长沙410030

采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了tialn涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度。分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得tialn涂层的结合强度达到HF3。划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测... 详细信息

采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了tialn涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度。分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得tialn涂层的结合强度达到HF3。划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测定结合强度,该法测得在压头曲率半径为200μm的情况下,tialn涂层的临界载荷达到13 N,比传统TiN涂层提高了45%。

关键词：磁控溅射 tialn涂层结合强度

TiCN基陶瓷刀具表面tialn涂层的制备及其性能研究

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稀有金属与硬质合金 2016年第2期44卷 41-45页

作者：苏永要王锦标张山山黎军军重庆文理学院新材料技术研究院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室重庆402160

利用离子辅助增强磁控溅射与蒸发镀二元组合源设备在TiCN基陶瓷刀具表面制备tialn涂层;为提高膜基结合力,采用蒸发镀技术预先沉积一层CrN/Cr过渡层。利用X射线衍射仪、维氏显微硬度计、洛式硬度计、摩擦磨损试验仪等设备,系统分析了CrN... 详细信息

利用离子辅助增强磁控溅射与蒸发镀二元组合源设备在TiCN基陶瓷刀具表面制备tialn涂层;为提高膜基结合力,采用蒸发镀技术预先沉积一层CrN/Cr过渡层。利用X射线衍射仪、维氏显微硬度计、洛式硬度计、摩擦磨损试验仪等设备,系统分析了CrN/Cr过渡层对涂层微观结构、显微硬度、膜基结合力及耐磨损性能的影响。结果表明,CrN/Cr过渡层的存在,使膜基结合力和涂层耐磨损性能得到大幅度提高。

关键词： TiCN陶瓷刀具 tialn涂层磁控溅射蒸发镀过渡层膜基结合力耐磨损性能

锆合金表面tialn和TiAlSiN涂层微观形貌和性能的研究

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稀有金属与硬质合金 2017年第6期45卷 66-70页

作者：周军樊湘芳丰振东胡汝骞李怀林南华大学机械工程学院湖南衡阳421001 国家电投集团中央研究院北京102209

对Zr-4合金表面分别进行多弧离子镀TiAlSiN涂层和tialn涂层。利用扫描电镜对涂层进行表面微观形貌观察;利用ImageJ对涂层大颗粒分布进行统计和分析;利用X射线衍射仪对涂层进行物相分析;利用自动划痕仪对涂层的力学性能进行检测;利用高... 详细信息

对Zr-4合金表面分别进行多弧离子镀TiAlSiN涂层和tialn涂层。利用扫描电镜对涂层进行表面微观形貌观察;利用ImageJ对涂层大颗粒分布进行统计和分析;利用X射线衍射仪对涂层进行物相分析;利用自动划痕仪对涂层的力学性能进行检测;利用高温热处理炉对涂层试样进行800℃高温抗氧化实验。结果表明:TiAlSiN涂层表面的大颗粒数较tialn涂层的少。TiAlSiN涂层中除了与tialn涂层共同拥有的Ti_2N、Ti_3AlN物相外,还生成了AlN物相和非晶相Si_3N_4。由于Si元素的加入引起残余应力,TiAlSiN涂层的膜基结合力低于tialn涂层。TiAlSiN涂层试样的氧化增重远低于tialn涂层的氧化增重。

关键词： Zr-4合金 TiAlSiN涂层 tialn涂层多弧离子镀高温抗氧化性能膜基结合力