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ti_(1-x)Al_xN涂层的组织结构及Al元素的作用机理

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宁波大学学报（理工版） 2001年第4期14卷 48-51页

作者：王永康熊仁章雷廷权夏立芳李炳生宁波市表面工程研究中心浙江宁波315041 哈尔滨工业大学黑龙江哈尔滨150001

通过不同Al含量的ti Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了ti1 xalxn涂层 .用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用 .研究表明 ,tiAlN涂层呈柱状多晶组织 ,(ti,Al)N为涂层的主要组成相 ;随着Al含量的增... 详细信息

通过不同Al含量的ti Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了ti1 xalxn涂层 .用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用 .研究表明 ,tiAlN涂层呈柱状多晶组织 ,(ti,Al)N为涂层的主要组成相 ;随着Al含量的增加 ,涂层中的(ti,Al)N相将减少 ,且其晶格常数将降低 .

关键词：多弧离子镀 ti1-xalxn涂层组织结构铝元素晶格常数金属材料表面处理氮化铝钛多元涂层

ti_(1-x)Al_xN涂层LPCVD过程模拟中的热力学计算

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硬质合金 2013年第6期30卷 297-301页

作者：王少卿陈响明杜勇王社权中南大学粉末冶金国家重点实验室湖南长沙410083 株洲钻石切削刀具股份有限公司湖南株洲412007

本文通过Thermo-Calc相图热力学计算软件建立了包含亚稳Fcc-ti1-x Alx N相的ti-Al-N三元体系的热力学模型,并对ti1-x Alx N涂层的LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)过程进行了计算模拟。研究了AlCl3,NH3和H2等反应气体成分变化对涂层中的Al含量的影响,理论预测结果与文献报道的实验结果吻合良好。利用计算模拟手段探究了富Al-ti1-x Alx N涂层的沉积过程,并预测了富Al-ti1-x Alx N涂层中的Al含量随反应气体成分以及沉积温度改变的变化情况。发现适当增加AlCl3、NH3/H2值及沉积温度均可提高涂层中的Al含量。

关键词： CVD ti1-xalxn涂层热力学计算

Al含量对ti_(1-X)Al_XN涂层组织结构的影响

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材料工程 2002年第8期30卷 24-25,12页

作者：王永康熊仁章雷廷权夏立芳李炳生宁波市表面工程研究中心宁波市315041 哈尔滨工业大学哈尔滨150001

通过不同 Al含量的 ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随... 详细信息

通过不同 Al含量的 ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随着 Al含量的增加 ,涂层中的 (ti,Al) N相减少 ,且其晶格常数降低。

关键词：多弧离子镀 ti1-xalxn涂层组织结构 (ti,Al)N

Al含量对多弧离子镀ti_(1-x)Al_xN涂层微观结构及性能的影响

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有色金属 2009年第4期61卷 26-29页

作者：袁建鹏刘富荣于月光北京矿冶研究总院北京100044

通过不同Al含量的真空感应熔炼ti1-x-Alx合金靶,采用多弧离子镀技术制备了ti1-xalxn涂层。用SEM,EDS等手段研究Al元素对涂层微观形貌和涂层成分的影响。结果表明,tiAlN涂层连续、光滑、孔隙率低、组织致密。随着Al含量的增加,涂层沉积... 详细信息

通过不同Al含量的真空感应熔炼ti1-x-Alx合金靶,采用多弧离子镀技术制备了ti1-xalxn涂层。用SEM,EDS等手段研究Al元素对涂层微观形貌和涂层成分的影响。结果表明,tiAlN涂层连续、光滑、孔隙率低、组织致密。随着Al含量的增加,涂层沉积效率降低、涂层硬度增加、涂层膜/基结合力先降低后升高。靶材成分还在一定程度上影响涂层的熔滴密度以及成分偏离程度。

关键词：金属材料 ti1-xalxn涂层多弧离子镀组织结构涂层成分

Al对ti_(1-x)Al_xN涂层高温氧化动力学的影响

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宁波大学学报（理工版） 2002年第3期15卷 39-41页

作者：王永康熊仁章李炳生雷廷权夏立芳宁波市表面工程技术研究中心浙江宁波315041 哈尔滨工业大学黑龙江哈尔滨150001

采用不同Al含量的ti Al热压粉末冶金烧结靶 ,通过多弧离子镀方法制备了ti1 xalxn涂层 .用AES等手段研究了涂层的抗高温氧化特性 ,着重研究了不同Al含量涂层的高温氧化动力学 .研究表明 ,一定量Al元素的加入提高了涂层的抗高温氧化温度 ,... 详细信息

采用不同Al含量的ti Al热压粉末冶金烧结靶 ,通过多弧离子镀方法制备了ti1 xalxn涂层 .用AES等手段研究了涂层的抗高温氧化特性 ,着重研究了不同Al含量涂层的高温氧化动力学 .研究表明 ,一定量Al元素的加入提高了涂层的抗高温氧化温度 ,ti0 .7Al0 .3 N涂层的抗高温氧化能力最好 ,其最高温度达 80 0℃以上 ;随着涂层中Al含量的不同 ,各涂层的抗高温氧化性能从优到劣依次为 :ti0 .7Al0 .3 N >ti0 .5Al0 .5N >ti0 .93 Al0 .0 7N >tiN .

关键词：高温氧化动力学多弧离子镀 ti1-xalxn涂层抗高温氧化性能 Al含量铝金属表面防护

ti_(1-x)AI_xN涂层低压化学气相沉积(CVD)技术

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工具技术 2014年第3期48卷 I0018-I0018页

随着高速干式切削工艺以及硬质材料切削需求的增加，对切削工具的需求也随之增大。这类材料包括高强度钢、铸造材料以及用于汽车以及航空工程的高强度合金材料。当切削工具高速运转时，

关键词： ti1-xalxn涂层低压化学气相沉积技术切削工艺切削工具高强度钢硬质材料合金材料