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High-quality-factor tantalum oxide nanomechanical resonators by laser oxidation of tase2
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Nano Research 2015年 第9期8卷 2842-2849页
作者： Santiago J. CartamiI-Bueno Peter G. Steeneken Frans D. Tichelaar Efren Navarro-Moratalla Warner J. Venstra Ronald van Leeuwen Eugenio Coronado Herre S.J. van der Zant Gary A. Steele Andres Castellanos-Gomez Kavli Institute of Nanoscience Delft University of Technology Lorentzweg 1 2628 CJ Delft The Netherlands Kavli Institute of Nanoscience Delft University of Technology National Centre for HREM Lorentzweg 1 2628 CJ Delft The Netherlands Instituto Ciencia Molecular (ICMol) Univ. Valencia C/Catedrdtico Jos@ Beltrdn 2 E-46980 Paterna Spain
Controlling the strain in two-dimensional （2D） materials is an interesting avenue to tailor the mechanical properties of nanoelectromechanical systems. Here, we demonstrate a technique to fabricate ultrathin tantalu... 详细信息
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