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主题

  • 1 篇 减反
  • 1 篇 紫外光辅助化学汽...
  • 1 篇 sio_2膜

机构

  • 1 篇 中国空空导弹研究...

作者

  • 1 篇 李小宏

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=SiO_2膜"
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紫外光辅助化学汽相沉积在InSb焦平面探测器中的应用
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内江科技 2012年 第7期33卷 100-100,95页
作者： 李小宏 中国空空导弹研究院 河南洛阳471009
本文系统描述了利用紫外光辅助化学汽相沉积(UVCVD)技术在InSb芯片背面减薄抛光后沉积sio_2薄膜,作为减反膜以减少芯片表面对红外光的反射。通过测量sio_2薄膜的光谱透过率,并利用红外焦平面测试系统测试sio_2膜对器件性能的影响,表明UV... 详细信息
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